问答题
薄膜要有良好的附着力,必须具有哪些基本特性?
(1)接口层原子之间须有强的化学键结,最好是有化合物的形成或化学吸附,理吸附是不够的(2)低的残存应力,这可......
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问答题 沉积的薄膜有内应力的存在,其来源为何?
问答题 良好的薄膜须具备哪些特性?影响的因素有哪些?
问答题 何为化学气相蒸镀(CVD)?主要的优缺点有哪些?