问答题
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
（1）薄膜和基材之间的晶格失配 （2）薄膜和基材之间的热膨胀系数差异 （3）晶界之间的互挤
问答题 良好的薄膜须具备哪些特性？影响的因素有哪些？
问答题 何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？
问答题 使用CVD法成长钻石薄膜，氢元素和碳元素的浓度有何重要性？
