判断题 在镀膜前先需核对所镀镜片与流程卡是否相符。

判断题 手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。

判断题 手动开机时，打开扩散泵（DP）加热开关前先需把MV阀打开，否则会影响扩散泵抽速。