判断题
手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
错误
判断题 手动开机时,打开扩散泵(DP)加热开关前先需把MV阀打开,否则会影响扩散泵抽速。
判断题 关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
判断题 自动关机时只要把总电源关掉就可以了。