多项选择题
化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为（）。
A.常压化学气相沉积B.低压化学气相沉积C.等离子体增强化学气相沉积D.高压气相沉积
单项选择题 以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）
多项选择题 以下哪些是蒸发沉积的要素？（）
多项选择题 实现应变隔离的方法有哪些？（）
