单项选择题
以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）
A.薄膜成分易控B.温度高C.均匀性D.台阶的覆盖性好
多项选择题 以下哪些是蒸发沉积的要素？（）
多项选择题 实现应变隔离的方法有哪些？（）
单项选择题 当承受较大载荷时，在（）位置将发生应变失配的情况。
