问答题
为何热氧化时要控制钠离子含量？降低钠离子污染的措施有哪些？
因为氧化层中如含有高浓度的钠，则线性和抛物型氧化速率常数明显变大。措施有：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯......
(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)
问答题 影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？
问答题 影响氧化速率的因素有？
问答题 热氧化工艺有哪些？
