问答题
影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型？降低这些电荷浓度的措施？
（1）可动离子电荷（Qm）：加强工艺卫生方可以避免Na+沾污；也可采用掺氯氧化，固定Na+离子；高纯试剂（2......
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问答题 影响氧化速率的因素有？
问答题 热氧化工艺有哪些？
问答题 氧化硅的主要作用有哪些？
