多项选择题
提高膜层聚集密度工艺有（）。
A、提高离子源功率 B、降低温度 C、降低真空度 D、提高温度
单项选择题 电子枪“FIL”灯变红，故障原因是（）。
单项选择题 真空镀膜时真空度范围应在（）。
多项选择题 对镀膜材料进行预熔的目的是（）。
