多项选择题 对镀膜材料进行预熔的目的是（）。

单项选择题 为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞，故真空室内真空度要到达10-3Pa以下，以满足（）条件

多项选择题 油扩散泵上面加冷阱，其作用是（）。