判断题
关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
错误
判断题 自动关机时只要把总电源关掉就可以了。
判断题 自动关机时不需要考虑真空度就可以直接关机。
判断题 曲线要求一样的前后两罩产品片可以混到一起,不会产生不良后果。