多项选择题
关于光学光刻，下列哪种方法可以获得高分辨率（）
A.光源为紫光B.使用移相掩膜技术制备的光刻版C.采取浸入式光刻方法D.驻波效应对分辨率无影响
多项选择题 溅射与蒸镀比较，下列那种说法正确（）
多项选择题 从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上（）
单项选择题 为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，多采用下列哪种工艺方法（）
