多项选择题
溅射与蒸镀比较，下列那种说法正确（）
A.蒸镀工艺的普适性更好B.溅射工艺的普适性更好C.溅射工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好D.蒸镀工艺薄膜质量（如粘附性、保形性等）更好
多项选择题 从两电极面积判断射频溅射时，靶放在那个电极上、衬底放在那个电极上（）
单项选择题 为了避免尖楔现象用含1%硅的硅铝合金制备IC内电极，多采用下列哪种工艺方法（）
单项选择题 poly-Si薄膜通常是采用什么方法制备的（）
