判断题
LOCOS工艺主要用于制作MOS管的栅氧结构。
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判断题 制备多晶硅之前先做一层薄氧,这层薄氧是栅氧。
判断题 制作场氧区的时候,氮化硅的作用是作为LOCOS氧化时的掩蔽层。
判断题 采用双阱工艺,可以实现PMOS和NMOS的独立控制。