多项选择题
CVD淀积SiO2薄膜过程中主要涉及的运动有哪些？（）
A.漂移运动B.反应运动C.扩散运动D.加接运动
多项选择题 CVD基本过程包括（）。
多项选择题 CVD薄膜有哪些应用？（）
多项选择题 CVD技术可以制备的薄膜有（）。
