多项选择题
CVD基本过程包括（）。
A.在表面进行化学反应，在表面淀积成薄膜B.副产物脱离吸附C.脱吸副产物逸出反应室D.反应剂传输至衬底表面，反应剂吸附在表面
多项选择题 CVD薄膜有哪些应用？（）
多项选择题 CVD技术可以制备的薄膜有（）。
多项选择题 溅射方法从本质上可分为（）。
