问答题
硅片研磨及清洗后为什么要进行化学腐蚀？
工序目的：去除表面因加工应力而形成的损伤层及污染
问答题 硅片表面吸附杂质清洗顺序是什么？
问答题 硅片表面吸附杂质的存在状态有哪些？
问答题 与Al布线相比，Cu布线有何优点？
