问答题
硅片表面吸附杂质清洗顺序是什么？
清洗顺序：去分子－去离子－去原子－去离子水冲洗－烘干、甩干
问答题 硅片表面吸附杂质的存在状态有哪些？
问答题 与Al布线相比，Cu布线有何优点？
问答题 什么是低K材料？
