填空题
柔性制造系统的组成包括：（），（），信息控制系统和一套计算机控制系统。
加工系统；物流系统
填空题 工业机器人一般由机械系统，（），（）和（）等几个部分组成。
填空题 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
填空题 优化设计的三要素是：（），（），（）。
