判断题 氦质谱检漏仪由真空系统、真空测量、质谱室、离子流放大器和控制部分组成。

判断题 扫频振动的目的是测定在规定频率范围内，振动对器件的影响。

判断题 密封的目的是确定具有内空腔的微电子器件和半导体器件封装的气密性。