多项选择题
LIGA技术主要工艺步骤包括（）。
A.MEMS光刻B.注模复制C.X光深度同步辐射光刻D.电铸制模E.MEMS蚀刻
多项选择题 微机械主要特点有（）。
多项选择题 为实现超精密切削，刀具应具有以下性能（）。
多项选择题 关于超精密加工说法正确的是（）。
