填空题 “双特征分析法”故障诊断技术是把振动故障信号分为平稳故障信号和（）故障信号。

填空题 半闭环进给伺服系统的检测元件是（）。

填空题 数控机床一般由数控装置、主轴伺服系统、（）、机床本体及辅助装置组成。