多项选择题 最常用的砷化镓的湿法刻蚀腐蚀液包括（）

单项选择题 （）可以通过带电粒子在盛场作用下做运动把粒子进行筛选，挑选出唯一需要注入的离子。

单项选择题 利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）