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集成电路技术综合练习

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单项选择题

固相扩散是通过微观粒子一系列随机跳跃来实现的,主要有三种方式。如下不是固相扩散方式的是()。‎

A.间隙式扩散
B.替位式扩散
C.热运动
D.间隙—替位式扩散

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