判断题
采用激光偏振检测系统可确定硅片表面疵病的性质，即区分疵病是划痕、裂痕、麻点、灰尘、油污膜层或其他缺陷。
正确
单项选择题 关于压电扫描器缺点叙述错误的是（）
判断题 激光衍射是一种有效的全场测量。
判断题 利用衍射条纹的间隔变化可以精密测量楔角。
