填空题 托板和磨架导轨共有数个静压腔，压力采用螺旋毛细管节流调节，浮起量为（）左右。

填空题 电子手轮可分别控制（）轴。

填空题 两侧头及长光栅采用德国海登汉公司产品，测量精度高。长光栅进度为（），短光栅精度为（）。