填空题 超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。

判断题 等脉冲电源是指每个脉冲在介质击穿后所释放的单个脉冲能量相等。对于矩形波等脉冲电源，每个脉冲放电持续时间相同。

判断题 电解加工时，串连在回路中的降压限流电阻使电能变成热能而降低电解加工的电流效率。