问答题
什么是光敏度，移相掩膜，驻波效应？
光敏度：指单位面积上入射的使光刻胶全部发生反应的最小光能量或最小荷量。移相掩膜：基本原理是在光掩模的某些透明......
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问答题 常见的光刻对准曝光设备有？
问答题 常见的曝光光源？
问答题 什么是正光刻胶，负光刻胶？
