填空题
坩埚涂层的主要成分是(),化学式是()。
氮化硅;Si3N4
填空题 位错的类型包括(),(),()。
填空题 头尾红区不良,造成头部红区不良主要为()杂质;造成尾部红区不良主要为()杂质。
填空题 DSS炉在气体模式框中显示()时,此时()流量固定,()自动调节保持设定压力。