多项选择题
氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）
A.屏蔽层B.栅氧化层C.牺牲层D.衬垫层
单项选择题 下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）
单项选择题 直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。A.引晶（下种）B.放肩C.收尾D.收颈E.等径生长
多项选择题 硅片制备最先进的抛光工艺是（）。
