多项选择题
目前控制膜厚种类有（）。
A、光学膜厚仪控制 B、电子枪控制 C、晶振膜厚仪控制 D、电脑控制
单项选择题 关门抽真空，一般当真空度抽到（）时开始自动预熔膜料。
单项选择题 下列哪个符号代表光控（）。
单项选择题 下列哪个符号代表高阀（）。
