单项选择题
多晶硅的生产方法主要包含:()1)冶金法2)硅烷法3)重掺硅废料提纯法4)西门子改良法5)SiCl4法6)气液沉淀法7)流化床法
A、1234 B、123 C、2457 D、4567
单项选择题 直拉法生长单晶硅拉晶过程有几个主要阶段?()
单项选择题 那个不是影响直拉单晶硅的电阻率均匀性的因素()
单项选择题 下列选项中,对从石英到单晶硅的工艺流程是()