判断题 化学气相沉积中，提高气体流速，可加快薄膜的沉积速率。

判断题 低温、高速的沉积往往有助于形成粗大甚至单晶结构的薄膜。

判断题 当入射离子能量小于一定值时，不会发生溅射现象。