填空题 电涡流式传感器分反射式和透射式两种，透射式是采用（）（选“高频”或“低频”）的激励方式。

填空题 变极距式电容传感器的电容变化与极板间距之间的关系是成（）关系，为了减小这种关系带来的测量误差，常采用（）结构来解决。

填空题 从原理来分，电容式传感器结构类型有：（）、（）、（）。