多项选择题
金属薄膜制备中常见的溅射方式有（）
A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
多项选择题 铝的电迁移可能导致的结果是（）
多项选择题 影响显影工艺的因素有（）。
多项选择题 下列哪些是进行光刻前的预处理的步骤？（）
