某设备监理单位与业主签订了一份30万吨尿素成套设备制造和安装项目的《设备工程监理服务合同》。该设备监理单位获取了设备制造阶段业主和承包商签订的《设备供货合同》、《设备供货技术协议书》；设备安装阶段业主和承包商签订的《设备工程安装合同》及该承包商的《安装实施技术方案》。
在《设备供货技术协议书》中规定：
（1）承包商对关键零部件的材料应在投料生产前进行机械性能和化学成份复验；材料复验出现“不符合”后，该材料的处置应获得业主书面批准。
（2）在关键零部件装配过程中，承包商应采取必要措施控制装配质量。
（3）在设备最终出厂试验前，承包商应通知业主参加出厂试验。
设备制造前，监理机构进行了本项目设备监理服务实现的策划，并制定了“特殊过程”的评审和批准准则。
设备制造过程中，总监理工程师收到承包商关键零部件的材料机械性能复验报告，其中有一项“不符合”，在此报告上承包商最高技术负责人批示“可以使用”，总监理工程师据此批准该批材料“放行”。

为确保“特殊过程”受控，除制定“特殊过程”的评审和批准准则外，设备监理工程师还应做好哪些方面的审查？