多项选择题

A.通过提高废液泵功率保证小孔流速稳定
B.通过增加传感器灵敏度保证小孔流速稳定
C.通过提高真空室的容积提高负压的稳定性
D.通过监测粒子流和小孔电压确定小孔流速是否正常