问答题
简述硅单晶研磨清洗的重要性。
硅片清洗的重要性:硅片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏成为悬挂键,形成表面附近的自由力场,极易吸附各种杂质,如颗粒......
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问答题 切片可决定晶片的哪四个参数?
问答题 将硅单晶棒制成硅片的过程包括哪些工艺?
问答题 小尺寸MOS器件中的二级效应包括哪些?