填空题 大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。

填空题 虚拟制造技术是以（）、（）、（）为支持，在产品设计或制造系统的物理实现之前，就能使人体会或感受到未来产品的性能或者制造系统的状态，从而可以作出前瞻性的决策与优化实施方案。

填空题 快速原型制造常用的工艺方法（），（），（），（）。