填空题 产品规格为77*77的晶片，镀膜一罩可以装120片，下片时由于不小心弄碎了1片，那么该罩的碎片率为（）。

填空题 镀膜膜层厚度监控方法有（）和（）两种。

多项选择题 真空度不对会导致以下哪些结果（）。