填空题 写出镀膜机各控制阀门的中文名称：MV（）DP扩散泵RV（）SLV细充气阀FV辅助阀。

填空题 该层晶振厚度是800A，现已镀了150A，由于某种原因充气而需要加镀，那么加镀晶振厚度是（）。

填空题 普通加热工艺镀制的薄膜微观结构是柱状结构，为了改善膜层结构，提高聚集密度，分别出现了三种成膜工艺（）、（）、（）。